IRIS Institutional Research Information System - OPENBS Open Archive UniBS

Microstructural characterisation of RF magnetron sputtered ZnO thin films on SiC

SBERVEGLIERI, Giorgio
2004-01-01
2004
Nessuno
PE3_5 Electronic properties of materials and transport
sì
2-s2.0-8744256616
WOS:000223533500018
Sì, ma tipo non specificato
Inglese
Internazionale
99-100
123
126
3
The microstructural characterization of r.f. magnetron sputtered ZnO thin films deposited on 6H-SiC is presented with a comprehensive investigation of their properties as a function of annealing temperature and film thickness. These structures, with some modifications, are utilised as Schottky diode hydrogen gas sensors and Surface Acoustic Wave (SAW) devices.
10
info:eu-repo/semantics/article
262
A., Trinchi; W., Wlodarski; S., Santucci; D. D., Claudio; M., Passacantando; C., Cantalini; B., Rout; S. J., Ippolito; K., Kalantar Zadeh; Sberveglier...espandi
1 Contributo su Rivista::1.1 Articolo in rivista
none
1.1 Articolo in rivista
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11379/34093
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 1
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? 1
social impact