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Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si : H multilayers for EUV applications

DEPERO, Laura Eleonora;BONTEMPI, Elza;
2003-01-01
2003
MIUR (compresi PRIN FIRB,FISR)
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
sì
2-s2.0-0042357376
WOS:000185680300008
Sì, ma tipo non specificato
Inglese
Internazionale
174
40
48
10
info:eu-repo/semantics/article
262
Rigato, V; Patelli, A; Maggioni, G; Salmaso, G; Mattarello, V; Pelizzo, Mg; Nicolosi, P; Depero, Laura Eleonora; Bontempi, Elza; Mazzoldi, P.
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none
1.1 Articolo in rivista
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