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Effects of plasma non-homogeneity on the physical properties of sputtered thin films

DEPERO, Laura Eleonora;BONTEMPI, Elza
2001-01-01
2001
Ateneo di appartenenza
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
sì
2-s2.0-0035387372
WOS:000171104600158
Sì, ma tipo non specificato
Inglese
Internazionale
142
943
949
9
info:eu-repo/semantics/article
262
Rigato, V; Maggioni, G; Patelli, A; Antoni, V; Serianni, G; Spolaore, M; Tramontin, L; Depero, Laura Eleonora; Bontempi, Elza
1 Contributo su Rivista::1.1 Articolo in rivista
none
1.1 Articolo in rivista
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