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Physical properties and microstructure of sputter deposited aluminum and zirconium oxynitride multilayers

L. E. DEPERO;E. BONTEMPI
2003-01-01
2003
MIUR (compresi PRIN FIRB,FISR)
PE4_4 Surface science and nanostructures
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
2-s2.0-18344416900
WOS:000185680300047
Sì, ma tipo non specificato
Inglese
Internazionale
174-175
266
266
1
sì
11
info:eu-repo/semantics/article
262
Rigato, V.; Patelli, A.; Maggioni, G.; Restello, S.; Vezzu, S.; Cooke, K. E.; Teer, D. G.; Boscarino, D.; Figueras, A.; Depero, L. E.; Bontempi, E....espandi
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1.1 Articolo in rivista
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