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Contactless excitation of MEMS resonant sensors by electromagnetic driving

BAU', Marco;FERRARI, Vittorio;MARIOLI, Daniele
2009-01-01
2009
Proceedings of the COMSOL Conference 2009
Ateneo di appartenenza
PE7_2 Electrical and electronic engineering: semiconductors, components, systems
Inglese
contributo
COMSOL Conference 2009
October 14-16, 2009
Milan, Italy
Internazionale
UNICO
-
-
9780982569726
-
none
Bau', Marco; Ferrari, Vittorio; Marioli, Daniele
273
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
3
4 Contributo in Atti di Convegno (Proceeding)::4.1 Contributo in Atti di convegno
4.1 Contributo in Atti di convegno
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