SOI mass-sensitive microresonators with off-chip piezoelectric excitation by PZT thick films
FERRARI, Vittorio;GHISLA, Alessio;TARONI, Andrea
2005-01-01
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.